光刻胶加工系统 SUSS MICROTEC GAMMA

制造商： SUSS

型号： MicroTec GAMMA

制造年份： 2011

CE 标志：是

电气规格：

- 电压：400V，三相 +N+PE
- 频率：50 Hz
- 功率：19 kVA
- AIC（视在分断能力）：100kA / 400VAC
- FLC （满载电流）： 28A

压力要求：

- CDA（清洁干燥空气）：5 巴
- N₂（氮气）：5 bar
- VAC（真空）：-0.8 bar
- DIW（去离子水）：5 bar

系统配置：

- 2 个 I/O（输入/输出）– 4–8 英寸安装座，右侧带翻盖
- Sankio 双夹持器
- 2 个显影模块 – 带有 2 个加热介质
- 1 个涂层模块 – 3Lacke IDI
- 6
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