フォトレジスト処理システム SUSS MICROTEC GAMMA

メーカー:SUSS

モデル:MicroTec GAMMA

製造年:2011

CEマーク:はい

電気的仕様:

- 電圧:400V、3相+ N + PE
- 周波数:50 Hz
- パワー:19 kVA
- AIC(見かけの遮断容量):100kA / 400VAC
- FLC(全負荷電流):28A

圧力要件:

- CDA(クリーンドライエア):5バール
- N₂(窒素):5バール
- VAC(真空):-0.8バール
- DIW(脱イオン水):5バール

システム構成:

- 2x I/O (入力/出力) – 4–8インチマウント、右側にフラップ付き
- サンキオダブルグリッパー
- 2つの開発者モジュール – 2つの加熱媒体付き
- 1 コーティングモジュール – 3Lacke IDI
- 6
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