포토레지스트 처리 시스템 SUSS MICROTEC GAMMA

제조사: SUSS

모델: MicroTec GAMMA

제조 연도: 2011

CE 마크 : 예

전기 사양 :

- 전압 : 400V, 3상 +N+PE
- 주파수: 50Hz
- 전력: 19 kVA
- AIC (겉보기 차단 용량) : 100kA / 400VAC
- FLC (전체 부하 전류) : 28A

압력 요구 사항:

- CDA(청정 건조 공기): 5bar
- N°C(질소): 5bar
- VAC(진공): -0.8bar
- DIW (탈 이온수) : 5 bar

시스템 구성:

- 2x I/O(입력/출력) – 4-8인치 마운트, 오른쪽에 플랩 포함
- 산키오 더블 그리퍼
- 2개의 개발자 모듈 – 2개의 가열 매체 포함
- 1 코팅 모듈 – 3Lacke IDI
- 6
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